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Modo de Vacío
Resolución
Alto vacío (< 6e-4 Pa [4e-6 Torr] )
1.2 nm @ 30kV/3.0nm @ 1kV
Bajo vacío (hasta 130 Pa [1 Torr] )
1.5 nm @ 30kV/3.0 nm a 3kV
Modo ESEM (hasta 4000 Pa [30 Torr] )
1.5 nm @ 30 kV